Laboratorium wytwarzania i badania nanostruktur za pomocą zogniskowanych wiązek jonów i elektronów (FIB/SEM)
Laboratorium Drobnowidztwa i Drobnodziejstwa
Ion and electron beam laboratory for MEMS/NEMS research

Załoga:

Teodor Gotszalk

Piotr Kunicki
Wojciech Majstrzyk
Magdalena Moczała
Karolina Orłowska


pokój numer: 004/C-2
tel. +48 71 320 20-45

Wyposażenie:

  • FIB/SEM Helios NanoLab™ 600i FEI COMPANY;
  • rentgenowski spektrometr (mikroanalizator) EDS Octane Pro EDAX AMETEK;
  • zestaw specjalistycznych 3 manipulatorów do badania i wytwarzania układów MEMS/NEMS 3MM3A-EM KLEINDIEK NANOTECHNIK;
  • analizator impedancji mechanicznej i elektrycznej układów MEMS/NEMS Agilent 4294A AGILENT TECHNOLOGIES;
  • system do wzbudzania i pomiaru częstotliwości drgań wytwarzanych i badanych za pomocą wiązek jonów i elektronów układów MEMS/NEMS EasyPLL NANOSURF;
  • moduł sterowania i akwizycji danych dla czujników bliskiego pola typu MEMS/NEMS NanoScope V BRUKER NANO SURFACES DIVISION;
  • napylarka wysoko-próżniowa do nanoszenia cienkich powłok warstw przewodzących węgla i metali szlachetnych Q150T ES QUORUMTECH;
  • pomocniczy mikroskop do obserwacji i diagnostyki układów MEMS i NEMS DM 2700M LEICA MIKROSYSTEMS.

Badania prowadzone w laboratorium:

  • Wytwarzanie nanonarzędzi  do syntezy i analizy mikro- i nanostruktur metodą trawienia jonowego;
  • Wytwarzanie nanonarzędzi metodą osadzania wspomaganego wiązką elektronową i jonową;
  • Preparatyka próbek przeznaczonych do wysokorozdzielczej transmisyjnej mikroskopii elektronowej;
  • Wytwarzanie i zastosowanie mikro- i nanostruktur dla potrzeb nanometrologii.

Zdjęcia

Laboratorium Drobnowidztwa i Drobnodziejstwa  Laboratorium Drobnowidztwa i Drobnodziejstwa - widok ogólny